Primatics PDR110C旋转工作台是目前最先进的直驱工作台之一——其高性能直驱电机可实现亚角秒级重复定位精度与快速稳定时间,PDR系列特别适用于半导体晶圆检测、高速激光加工及精密计量领域。PDR110C采用紧凑设计,占地面积较同类蜗轮传动设备更小。
PDR110C的高效钕磁铁伺服电机相比其他直驱平台,可实现更强劲的加速度、更短的稳定时间及更低的电机发热量。此外,PDR电机采用高极数设计,即使在极低速运行时也能获得低速度纹波——高性能电机配合安装在工作台上的高分辨率玻璃尺,在宽动态范围内实现卓越的伺服刚性。
超大尺寸的交叉滚子轴承和传动系统确保了设备持久稳定的运行。此外,PDR配备半球形开关,可实现快速归位。
Primatics PDR110C 是市场上最紧凑的直驱旋转平台,专为实现角秒级重复精度和快速稳定时间而设计。